干式真空泵式指泵能從大氣壓下開始抽氣，又能將氣體直接排到大氣中去，泵腔內無油或其他工作介質，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或接近的機械真空泵。

　　目前，大多數機械真空泵都是用油、水或其他流體充當泵的工作介質，在泵內起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科技發展及真空應用領域的擴大，原有的真空泵出現了兩個急需解決的問題：一是泵的工作解釋返流污染被抽容器，在許多情況下影響產品的質量、數量，增加設備的維護成本;其次，由于某些工藝過程中的反應物質使真空泵內的介質嚴重變質，是泵不能正常工作。這時就要用到干式真空泵。

干式真空泵的應用主要有以下幾個方面：
　　

1. 低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝
   　　

2. 半導體刻蝕工藝，在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒。
   　　

3. 除半導體工藝外某些產生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式真空泵可以滿足要求。
   　　

4. 在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵。
   　　

5. 用做一般無油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染。